Plazma Aşındırma Makinesi Yapısı

ICP ekipmanı temel olarak dört parçadan oluşur: ön-vakum odası, aşındırma odası, gaz besleme sistemi ve vakum sistemi.

(1) Ön-vakum odası

Ön-vakum odasının işlevi, dağlama odasının ayarlanmış bir vakum seviyesinde tutulmasını, dış ortamdan (toz, su buharı gibi) etkilenmemesini ve tehlikeli gazların temiz odadan izole edilmesini sağlamaktır. Bir kapak, bir manipülatör, bir aktarma mekanizması, bir izolasyon kapısı vb.'den oluşur.

(2) Dağlama odası

Aşındırma odası, ICP aşındırma ekipmanının temel yapısıdır. Aşındırma hızı, aşındırmanın dikeyliği ve pürüzlülük üzerinde doğrudan etkisi vardır. Aşındırma odasının ana bileşenleri şunlardır: üst elektrot, ICP radyo frekans ünitesi, RF radyo frekans ünitesi, alt elektrot sistemi, sıcaklık kontrol sistemi vb.

(3) Gaz besleme sistemi

Gaz besleme sistemi, aşındırma odasına çeşitli aşındırma gazları iletecek ve basınç kontrolörü (PC) ve kütle akış kontrolörü (MFC) aracılığıyla gaz akış hızını ve akışını doğru bir şekilde kontrol edecektir. Gaz besleme sistemi, bir gaz kaynağı şişesi, bir gaz dağıtım boru hattı, bir kontrol sistemi, bir karıştırma ünitesi vb.'den oluşur.

(4) Vakum Sistemi
Biri ön-vakum odası ve diğeri dağlama odası için olmak üzere iki vakum sistemi vardır. Ön-vakum odası mekanik bir pompayla boşaltılır. Yalnızca ön-vakum odasındaki vakum seviyesi ayarlanan değere ulaştığında, levhayı aktarmak için izolasyon kapısı açılabilir. Aşındırma odasındaki vakum, mekanik bir pompa ve bir moleküler pompa tarafından sağlanır. Aşındırma odasındaki reaksiyon sonucu oluşan gazlar da vakum sistemi ile tahliye edilir.